Micro-capteur pour salle blanche

Centre National d'Etudes Spatiales CNES - 17/10/2016

Description

L’invention est basée sur un principe de détection optique par transmission à travers une surface de collection des particules transparente. La détection optique est couplée à un système de scan en deux directions et à un système lui permettant d’être autonome en énergie, sans fil et en réseau avec d’autres capteurs.

Bénéfices

Une production assurée Une meilleure qualité de la production Un environnement sécurisé

Nouveautés

Une solution sûre - Garantie le taux de contamination des salles propres cf. norme ISO (taille et nombre) - Surface de collection des particules : seul laser mobile donc absence de risque que les particules se décrochent de la surface Une solution précise - Dimension appareil : pour permettre une mesure locale (des dispositifs critiques) - Mesure de particules très fines : diamètre compris entre 1 et 20 μm. Une surveillance en temps-réel - Mesure en temps-réel de la contamination particulaire surfacique - Informations apportées : le nombre de particules, la granulométrie et le facteur de forme des particules. Une détection optique - Autonome en énergie, sans fil - Mise en réseau avec d’autres capteurs possible

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