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- TRL (Technology readiness level) -
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- Titre CAPTEUR PIEZO MINCE 3 μm
- Description Mesure de la répartition des charges statiques à l’intérieur des diélectriques.
Une des difficultés de la méthode est de pouvoir
transformer le signal acoustique en signal électrique
avec une forte sensibilité. L’invention repose sur une
nouvelle approche pour cette transformation. Un
capteur piézoélectrique mince réalisé avec un film de
fine épaisseur pour remplacer les capteurs classiques
plus épais.
Il existe plusieurs problèmes à utilisation d’un film fin
comme capteur : fragilité, problème de température de
recuit après dépôt (PVDF) et perte de sensibilité.
L’invention propose une combinaison astucieuse
du détecteur acoustique. La partie absorbeur est
d’une épaisseur à la fois fine (faible atténuation) et
suffisamment épaisse (rôle de ligne à retard) pour
conserver une bonne sensibilité et améliorer la
résolution.
- Bénéfices Capteur mince (3 μm)
Efficace et robuste
Optimisation de la technique de mesure de charge
d’espace PEA.
Le capteur transforme le signal acoustique en signal
électrique en gardant une forte sensibilité malgré
l’amincissement en améliorant ainsi la résolution spatiale.
Innovant
Capteur piézoélectrique plus mince que les capteurs
classiques.
Haute résolution et mesure sur diélectrique
mince de 20 à 50 μm.
Plus robuste.
Forte sensibilité.
Protype existant utilisable en industrie.
- Nouveauté Détection des charges statiques : industries
pharmaceutiques, cosmétiques, production de
films plastiques, isolants pour les câbles, etc.
Toutes utilisations de capteur Piezo.
Mesure haute résolution de propagation ou
d’atténuation acoustique jusqu’à des structures
minces (<100 μm).
- Mots clés Mesure
- Secteurs Aérospatial & Défense Automatismes Industriels
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- Titre THIN PIEZOELECTRIC SENSORS 3 μm
- Description Measurement of the distribution of static charges inside dielectrics.
One of the difficulties of the method is to be able to
transform the acoustic signal into an electrical signal
with high sensitivity. The invention is based on a new
approach. A thin piezoelectric sensor made with a thin
film to replace the thicker conventional sensors.
There are several problems with using a thin film
sensor as: fragility, annealing temperature problem
after deposition (PVDF) and loss of sensitivity.
The invention proposes an astute combination of the
acoustic detector. The absorber part is both thin (low
attenuation) and thick enough (delay line) to maintain
good sensitivity and improve resolution
- Bénéfices High resolution and thin dielectric
measurement of 20 to 50 μm.
More robust.
High sensitivity.
Prototype usable in industry.
Thin sensors (3 μm)
Efficient & robust
Optimizing the PEA space charge measurement
technique.
The sensor transforms the acoustic signal into an electrical
signal while maintaining high sensitivity despite thinning,
thereby improving spatial resolution.
Innovative
Piezoelectric sensors thinner than conventional sensors.
- Nouveauté Static charge detection: pharmaceutical
industry, cosmetics, plastic film production,
cable insulation, etc.
All uses of Piezo sensors.
High resolution measurement of acoustic
propagation or attenuation to thin structures
(<100μm).
- Mots clés Mesure
- Secteurs SantéAerospace & Defence Automation
